ГОСТ Р 71334-2024
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ГОСТ Р 71334-2024
(8 страниц)
Библиография
Обозначение ГОСТ
ГОСТ Р 71334-2024
Наименование на русском языке
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции
Наименование на английском языке
Epitaxial structures. Мethod for measuring the thickness of epitaxial silicon layers in structures of the silicon-on-sapphire type based on IR interference
Дата введения в действие
01.03.2025
Код ОКС
33.060.99
Количество страниц
8
Статус
Принят
2007-2022 © ФГБУ «РСТ»
.