|
|
 |
ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
|
|
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
|
|
|
|
Библиография
| Обозначение ГОСТ |
ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 |
| Наименование на русском языке |
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне |
| Наименование на английском языке |
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness b nanoscale particle concentration |
| Дата введения в действие |
01.12.2020 |
| Код ОКС |
13.040.35;19.020;07.030 |
| Количество страниц |
16 |
| Статус |
Действует |
|
|
|
| |