|
|
ГОСТ Р 71334-2024
|
|
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции
|
|
|
|
Библиография
Обозначение ГОСТ |
ГОСТ Р 71334-2024 |
Наименование на русском языке |
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции |
Наименование на английском языке |
Epitaxial structures. Мethod for measuring the thickness of epitaxial silicon layers in structures of the silicon-on-sapphire type based on IR interference |
Дата введения в действие |
01.03.2025 |
Код ОКС |
33.060.99 |
Количество страниц |
8 |
Статус |
Принят |
|
|
|
| |