На главную

ГОСТ Р 8.716-2010

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений


ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ГОСТ Р 8.716-2010 (12 страниц)

Библиография

Обозначение ГОСТ ГОСТ Р 8.716-2010
Наименование на русском языке Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Наименование на английском языке State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range from 10 to 30 nm. Measurements procedure
Дата введения в действие 01.01.2012
Код ОКС 17.020
Количество страниц 12
Статус Действует

2007-2022 © ФГБУ «РСТ»


.
SpyLOG