ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ГОСТ Р 8.640-2008
(15 страниц)
Библиография
Обозначение ГОСТ
ГОСТ Р 8.640-2008
Наименование на русском языке
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Наименование на английском языке
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата введения в действие
01.01.2009
Код ОКС
17.020
Количество страниц
15
Статус
Действует
2007-2022 © ФГБУ «РСТ»
.