ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ГОСТ Р 8.659-2009
(16 страниц)
Библиография
Обозначение ГОСТ
ГОСТ Р 8.659-2009
Наименование на русском языке
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Наименование на английском языке
State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата введения в действие
01.01.2011
Код ОКС
17.020
Количество страниц
16
Статус
Действует
2007-2022 © ФГБУ «РСТ»
.