 |
ГОСТ Р 8.628-2007
|
|
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
|
|
|
|
Библиография
| Обозначение ГОСТ |
ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Наименование на русском языке |
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Наименование на английском языке |
State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата введения в действие |
01.02.2008 |
| Код ОКС |
17.040.01 |
| Количество страниц |
12 |
| Статус |
Действует |
|
|
|
Изменения
|
|
| |