ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
(16 страниц)
Библиография
Обозначение ГОСТ
ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
Наименование на русском языке
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Наименование на английском языке
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness b nanoscale particle concentration
Дата введения в действие
01.12.2020
Код ОКС
13.040.35;19.020;07.030
Количество страниц
16
Статус
Действует
2007-2022 © ФГБУ «РСТ»
.