 |
ГОСТ Р 72477-2025
|
|
Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
|
|
|
|
Библиография
| Обозначение ГОСТ |
ГОСТ Р 72477-2025 |
| Наименование на русском языке |
Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия |
| Наименование на английском языке |
Processing microelectronic equipment. General technical conditions |
| Дата введения в действие |
01.07.2026 |
| Код ОКС |
31.240 |
| Количество страниц |
20 |
| Статус |
Принят |
|
|
|
| |