ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Основные сведения
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Регистрация в фонде
60-ст
26.03.2008
01.01.2009
-
Поисковые образы
17.020
энергетическая освещенность;спектральная чувствительность;средства измерений;ультрафиолетовое излучение;радиометр;фотолитография
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)
Сведения о регистрации в МГС
-
-