ГОСТ Р 8.643-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure
Основные сведения
ГОСТ Р 8.643-2008
ГОСТ Р 8.643-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки
Регистрация в фонде
113-ст
02.06.2008
01.02.2009
-
Поисковые образы
17.020
рефлектометр;коэффициент диффузного отражения;коэффициент зеркального отражения;средство измерений;вакуумное ультрафиолетовое излучение;экстремальный ультрафиолет
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)
Сведения о регистрации в МГС
-
-