ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination
Основные сведения
ГОСТ 26239.1-84
ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Регистрация в фонде
2490
13.07.1984
01.01.1986
-
Поисковые образы
29.045
кремний полупроводниковый;двуокись кремния;кварц;кремний четыреххлористый;трихлорсилан;определение примесей методом химико-атомно-эмиссионным;аппаратура;материалы;реактивы
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
-
Минцветмет СССР
Сведения о регистрации в МГС
-
-