ГОСТ 8.593-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Method for verification
Основные сведения
ГОСТ 8.593-2009
ГОСТ 8.593-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
Регистрация в фонде
57-ст
05.04.2010
01.11.2010
-
Поисковые образы
17.040.01
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы;методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
441 - Нанотехнологии
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия)
Сведения о регистрации в МГС
36-2009
2009-11-11