ГОСТ Р 8.644-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration
Основные сведения
ГОСТ Р 8.644-2008
ГОСТ Р 8.644-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
Регистрация в фонде
186-ст
26.08.2008
01.06.2009
-
Поисковые образы
17.040.01
рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов;сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп;лазерный интерферометр;методика калибровки
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
441 - Нанотехнологии
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Федеральное государственное учреждение "Российский научный центр "Курчатовский институт"; Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"
Сведения о регистрации в МГС
-
-