ГОСТ Р 8.627-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements
Основные сведения
ГОСТ Р 8.627-2007
ГОСТ Р 8.627-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Регистрация в фонде
26-ст
28.02.2007
01.07.2007
-
Поисковые образы
17.020
рефлектометр;коэффициент диффузного отражения;коэффициент зеркального отражения;средство измерений;вакуумное ультрафиолетовое излучение
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Сведения о регистрации в МГС
-
-