ГОСТ Р 71994-2025
Системы подготовки воды для электронной промышленности
Systems of ultrapure water treatment for electronics industry
Основные сведения
ГОСТ Р 71994-2025
ГОСТ Р 71994-2025
Системы подготовки воды для электронной промышленности
Регистрация в фонде
192-ст
20.03.2025
01.11.2025
-
Поисковые образы
13.060.25
ультрачистая вода, деионизованная вода, сверхчистая вода, электронная промышленность, ионобменная смола, обратный осмос, ультрафильтрация, проводимость, общий органический углерод
Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники. Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем. В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
184 - Обеспечение промышленной чистоты
Акционерное общество «НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ КОМПАНИЯ МЕДИАНА-ФИЛЬТР» (АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР»)
Сведения о регистрации в МГС
-
-