ГОСТ 8.592-2009

ГОСТ 8.592-2009

ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

56-ст

05.04.2010

01.11.2010

-

17.040.01

длина;рельефные меры нанометрового диапазона;монокристаллической кремний;размеры;формы;материал;растровые электронные микроскопы;зондовые сканирующие атомно-силовые микроскопы

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

-

-

-

-

-

-

441 - Нанотехнологии

Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия)

36-2009

2009-11-11