ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Основные сведения
ГОСТ Р 52250-2004
ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Регистрация в фонде
162-ст
10.03.2004
01.01.2005
-
Поисковые образы
71.080.99
резист;чувствительность к излучению;разрешающая способность;состав параметров;сохраняемость;испытания;приемка
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование
Открытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ"
Сведения о регистрации в МГС
-
-