ГОСТ Р 8.630-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Methods for verification
Основные сведения
ГОСТ Р 8.630-2007
ГОСТ Р 8.630-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
Регистрация в фонде
98-ст
21.05.2007
01.02.2008
Поисковые образы
17.040.01
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы;методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа - один год
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
441 - Нанотехнологии
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
Сведения о регистрации в МГС
-
-