ГОСТ Р 8.629-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification
Основные сведения
ГОСТ Р 8.629-2007
ГОСТ Р 8.629-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Регистрация в фонде
97-ст
21.05.2007
01.02.2008
Поисковые образы
17.040.01
рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов;сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп;лазерный интерферометр;методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. Межповерочный интервал рельефной меры - один год
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
441 - Нанотехнологии
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
Сведения о регистрации в МГС
-
-