ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
Основные сведения
ГОСТ 26239.8-84
ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Регистрация в фонде
2491
13.07.1984
01.01.1986
-
Поисковые образы
29.045
кремний полупроводниковый;кремний четыреххлористый;очистка ректификационная;смесь;трихлорсилан;анализ хроматографический;аппаратура;материалы;реактивы
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
-
Минцветмет СССР
Сведения о регистрации в МГС
-
-