ГОСТ Р 71645-2024

ГОСТ Р 71645-2024

ГОСТ Р 71645-2024

Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей

1339-ст

01.10.2024

01.03.2025

-

29.045

кремний полупроводниковый, метод, концентрация примесей

Настоящий стандарт распространяется на вновь разрабатываемый и модернизируемый полупроводниковый кремний и устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод измерения концентрации примесей с возбуждением спектров разрядов с горячим полым катодом. Интервалы определяемых значений концентрации примесей приведены в приложении А. Стандарт следует применять для выбора параметров при разработке технических заданий (ТЗ) на научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, программ испытаний (ПИ), опытных образцов, стандартов на методы измерений, номенклатуру показателей системы показателей качества и технического уровня полупроводникового кремния

-

-

-

-

-

-

303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование

Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

-

-