ГОСТ 26239.3-84

ГОСТ 26239.3-84

ГОСТ 26239.3-84

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора

2490

13.07.1984

01.01.1986

-

29.045

кремний полупроводниковый;кремний технический;трихлорсилан;тетрохлорид кремния;двуокись кремния;определение фосфора;метод экстракционно-фотометрический;метод экстракционно-колориметрический;метод нейтронно-активационный;аппаратура;материалы;реактивы

Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии

-

-

-

-

-

-

-

Минцветмет СССР

-

-