ГОСТ Р 8.631-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Methods for verification
Основные сведения
ГОСТ Р 8.631-2007
ГОСТ Р 8.631-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
Регистрация в фонде
99-ст
21.05.2007
01.02.2008
Поисковые образы
17.040.01
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;растровые электронные измерительные микроскопы;методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес.
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
441 - Нанотехнологии
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
Сведения о регистрации в МГС
-
-