ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Основные сведения
ГОСТ Р 8.659-2009
ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Регистрация в фонде
972-ст
15.12.2009
01.01.2011
-
Поисковые образы
17.020
энергетическая яркость;сила излучения;спектральная чувствительность;средства измерений;ультрафиолетовое излучение;нанофотолитография;синхротронное излучение
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)
Сведения о регистрации в МГС
-
-