ГОСТ Р 8.635-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки
State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration
Основные сведения
ГОСТ Р 8.635-2007
ГОСТ Р 8.635-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки
Регистрация в фонде
318-ст
20.11.2007
01.08.2008
-
Поисковые образы
17.040.01
длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы;методика калибровки
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629
Ссылочные данные
-
-
-
-
-
-
Сведения о разработчике
441 - Нанотехнологии
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"
Сведения о регистрации в МГС
-
-